為什么羅茨真空泵配合前級泵?原因在這里
羅茨真空泵一般分成兩大類,一類為干式羅茨泵,一類為濕式羅茨泵。濕式羅茨泵不配前級泵,而干式羅茨泵則需要配前級泵組成機組。所以,在談到運行時,必然要聯系到羅茨泵機組。
組成羅茨泵機組,羅茨泵與前級泵的抽速比的選擇是很重要的。如前所述,羅茨泵的壓縮比很有限。當入口壓強在100Torr一直到大氣壓時,壓縮比為2.15;當入口壓強為10的負一次方Torr,壓縮比可達40。
在考慮機組組成時,首先要考慮羅茨泵入口壓強范圍,假設是10Torr,可知最大容許壓縮比為8。這一壓縮比決定若前級泵的容量,因壓縮比是兩者抽速的反比。一般壓縮比在2?10內選取。
另外,應當考慮對預抽時間的要求。真空設備是作為輔助設備應用于各種機械設備中的,如果正常工作時間遠比預抽時間長,可選較小的前級泵(壓縮比可大些)•假若真空室較大,而且要求很快預抽,就用較大的前級泵。有時為了更好地發(fā)揮設備的效率,機組前裝有一臺較大的預抽泵,工作正常后再關掉它。h d F J 1 1 . C OM
為了提高真空度,有時把兩個羅茨泵串聯使用,選二者的抽速比為2?5。如果壓縮比選大了,前級泵就很小,不利于系統(tǒng)的預抽,而且當第一級羅茨泵反壓強提高時,容易造成第二級羅茨泵超負荷。
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