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機(jī)械真空泵的分類有哪些?

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問(wèn)題:機(jī)械真空泵的分類有哪些?


回答:真空泵是一切獲得真空裝置的統(tǒng)稱,包括用機(jī)械、物理、 化學(xué)以及物理化學(xué)的方法對(duì)密閉容器抽真空的各種機(jī)器或器 件。在粗真空或低真空區(qū)域,有時(shí)使用一種真空泵即可達(dá)到要 求,而在真空度要求較高時(shí),往往需要幾種不同類型的真空泵 聯(lián)合工作,才能滿足需要。為此,日前已生產(chǎn)出各種類型的真 空泵,盡管種類繁多,但從基本原理來(lái)看,可歸納為兩大類:


(1)壓縮型真空泵這類真空泵不斷從吸氣方吸取氣 體,經(jīng)壓縮從排氣方排走,從而逐漸獲得真空。例如機(jī)械真空 泵在工作循環(huán)中的吸氣一壓縮作用,蒸汽噴射泵利用氣體粘 滯牽引作用,以及分子泵的分子牽引作用,都屬于這種類型。


(2)吸附型真空泵這類泵在前級(jí)泵抽至較高真空度 的基礎(chǔ)上,利用包括吸氣物質(zhì)在內(nèi)的各種吸氣作用將氣體吸去,從而進(jìn)一步降低氣壓,提高真空度。例如離子泵利用電 離吸氣作用,吸附泵、低溫泵和吸氣劑泵利用物理化學(xué)吸附 作用,都屬于這種類型。


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